前不久  ，随着经济杭州大复工复产的快速推进  ，东方晶源积极组织一设备交付其他工作  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和最关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付杭州大所有客户 。该次出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机在欧美等国知名晶圆代工厂后  ，之后可以首获头部所有客户 的青睐和可以首获。除此之外  ，标志着东方晶源硬件其产品提前进入批量交付三大模式。

该次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程 ，除具有一该系列其产品惯有的人高灵敏度电性和物理缺陷检测、有效性其他完美解决28nm及以上全部良率其他完美解决、自主创旧的高性能缺陷检测引擎（DNA综合数据库）、基本框架深度学习内容 的缺陷自动分类（ADC）算法等其产品特点外  ，东方晶源研发强强大团队就在上一代其产品的基本框架上升级优化优化 ，使SEpA-i515具有一更高的TPT和更优的大平台独特设计  ，设备运行效率、性能指标均有大幅整体整体水平提升。的的的的  ，上一代其产品SEpA-i505 如今在在欧美等国头部晶圆代工厂量产整年  ，其产品性能及稳定性可以首获充分验证。

另一台交付的其产品为最关键尺寸量测设备  ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程  ，针对先进的电子束成像系统支持 和高速硅片传输方案  ，搭配一精准的量测算法  ，可能够实现高重复精度、高分辨率及高产能的最关键尺寸量测。该设备自前年6月底提前进入在欧美等国头部晶圆代工厂一年以来产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果可以首获所有客户 可以首获。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的欧美等国科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目成功  ，只是经过数年攻坚克难 ，突破多项核心最关键技术实现  ，从零部件到整机独特设计制造  ，均具有一没有自主知识产权 ，填补在欧美等国空白。到目前 ，两款设备提前进入批量交付三大模式  ，产业化进程已取得丰硕成果。

该次设备交付的所有客户 所在脚边海到欧美等国集成电路产业具有一举足轻重的地位  ，到目前如今作为在欧美等国集成电路产业水平提升提升高、产业链完整、产业生态生活环境坏的集聚地作为。东方晶源非常看重杭州大大的整体发展和布局  ，继计算光刻应用软件（OPC）提前进入杭州大头部晶圆代工其他企业后  ，硬件其产品并于 登陆杭州大。为更棒 专业的服务产品以上全部海为核心的长三角所有客户  ，东方晶源并于 前年8月份杭州大大设立子子公司  ，加大形成杭州大总部、杭州大子子公司和杭州大子子公司为核心的三地布局  ，加大其他企业贴近产业前沿高地  ，为集成电路制造其他企业带去优质的其产品和服务产品  ，更棒 专业的与上下游其他企业携手加大产业整体发展的除此之外  ，构筑其他其他企业竞争壁垒。

东方晶源自挂牌成立 一年以来  ，专注于芯片制造最关键环节的良率全面控制和整体整体水平提升核心领域 ，加大形成以计算光刻应用软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的其产品矩阵 ，并向更棒 专业紧密相关 核心领域积极布局。硬件能力方面  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发其他工作  ，加大夯着实在欧美等国电子束检测核心领域领先的整体市场地位和技术实现实现强大优势。应用软件能力方面  ，光刻工艺严格仿真应用软件PanSim如今在所有客户 侧针对验证  ，预计今年7月底release V1.0版本。发展未来  ，东方晶源将立足通用应用软件大平台和检测装备两大核心领域  ，寻求横纵向整体发展机遇 ，为所有客户 技术实现提供非常多样化的其产品 ，向着在欧美等国集成电路核心领域良率管理领导者的大目标奋进。