7月9日  ，由国家集成电路创新如果未来 联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新加速发展交流会”以六大会场加网路连线的多种途径同步如期举行。视觉联盟集成电路全产业链各环节的优秀企业中、高校和科研院所的千余位代表人参会  ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海女士受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业各种技术创新奖（简称“IC创新奖”）  ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI）  ，没拿到各种技术创新奖。

　　“IC创新奖”由国家集成电路创新如果未来 联盟主办  ，面向到国内集成电路产业链上下游企事业单位管理 征集  ，重点鼓励集成电路各种技术创新、成果产业化、产业链上下游正式合作  ，是集成电路产业重要性性的各种技术奖项他成 ，另有各种技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大各种技术创新和重要性各种技术开发主要由 没拿到重大突破的单位管理 和团队成员。首次摘得行业发展重磅赛事的重要性性奖项  ，依然彰显出东方晶源在电子束检测、量测核心领域的各种技术实力超强和行业发展的总体高度认可。

　　检测是芯片制造厂商大大整体提升良率的重要性手段。电子束检测设备具备超高精度  ，在高端芯片制造变化过程发挥的起到愈加大。目前为止 ，该类设备被到国内厂商垄断  ，他成 制约目前目前中国芯片制造自主可控的重要性瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，没拿到成功 研声响到国内首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可消费需求消费需求提供的纳米级缺陷检测和数据分析问题方案。目前为止已予以 目前目前中国头部芯片制造厂商产线验证  ，验证结果好表明主要由指标与到国内一线对标机台不大大整体提升到 同等技术水平  ，没拿到成功 问题目前目前中国在电子束检测核心领域的重要性各种技术问题。

　　东方晶源在电子束检测、量测核心领域已深耕多年并没拿到成功 年底推出多款设备  ，没拿到重大突破。除首次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸重要性尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于从今年今年年初6月正式进入产线验证  ，目前为止提前完成成熟制程量产验证 ，图像质量清晰  ，与POR 的CD差异消费需求规定要求 ，性能依然改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于从今年今年年初3月正式进入产线验证  ，目前为止已然正式进入最终客户产线小规模试产。另有  ，东方晶源还于近期一正式发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM）  ，目前为止该设备工程机（Alpha机）已然予以 首轮wafer demo ，能够消费需求28nm及不不大大整体提升到 用制程消费需求  ，Beta机集成工作会加速推进中  ，已没拿到最终客户订单  ，正式进入产线验证指日可待。

　　他成 两家聚焦集成电路良率管理核心领域  ，以大大整体提升芯片制造门槛为使命的半导体企业中 ，东方晶源依旧以研发创新为加速发展核心  ，断地丰富产品会矩阵并大大整体提升产品会性能  ，填补多项到国内空白。如果未来 ，东方晶源将依然立足一体化软件工具品台和检测装备两大核心领域  ，以最终客户为四大中心  ，以目前市场为导向  ，断地予以 各种技术突破与产品会创新 ，与目前目前中国集成电路产业上下游企业中勠力同心  ，推动目前目前中国集成电路制造产业依然高速加速发展。